立体格子パターン

解像度テストパターン

バイオチップ
創薬分野や再生医療分野などでの活用が期待されているバイオチップの作製 に使用される。写真のマイクロチップアレイは平面構造であるが、ACCULAS を使用すれば、立体構造の細胞培養3次元チップアレイも作製可能となる。 |

マイクロ流路
マイクロ流路は通常ガラス板に単純な溝形状をエッチング加工してガラス板等で蓋をする方式で作製される。ACCULASを使用すれは、どのような形状の流路も自在に加工可能であり、しかも蓋なしの完全な立体流路が作製可能である。目的に応じ自由に流路設計が出来るようになった。 |
マイクロバネ、カンチレバー、プローブ、MEMS(マイクロシステム)
写真はACCULASによるマイクロバネの作製例である。直径0.5mmのシャープペンシルの芯と同じ径である。マイクロバネ形状はカンチレバー、マイクロプローブなどへの応用が期待されている。またMEMS分野において、ACCULASの導入により自由な3次元形状での製品設計が可能となり、MEMS製造の革新になるものと期待されている。 |

電鋳型マスター(インプリント型作製マスター)
下の写真は5mm角の板に微少のすり鉢状の穴が2500個配置されている。それぞれの穴のサイズはすり鉢上部径が50ミクロン下部径が10ミクロン、深さは30ミクロンである。形状であるが、ACCULASを用いれば、たった1時間で作製可能である。本形状をマスターとしてNi電鋳され、ナノインプリント型として使用された。 |

円柱構造は径50ミクロン高さ150ミクロン、円錐構造は下部径150ミクロは高さ150ミクロンである。作製時間は合わせて1時間弱である。Ni電鋳後、樹脂剥離工程を経て、金型として熱可塑性樹脂のインプリント成形に使用された。
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フォトニック結晶、フォトニックフラクタル(セラミックスマイクロ構造体)
大阪大学宮本研究室で作製されたフォトニクス結晶の例を上の写真に示す。光造形でしか出来えない複雑な3次元構造体である。しかも本構造体の材料はセラミックスである。セラミックスナノパウダーを含有した樹脂で造形後、脱脂、焼結してセラミックス構造体にしている。 |

マイクロ部品
| 従来の光造形法では不可能であった、 マイクロコネクターやマイクロギアのような微少部品の試作や、少量ロットの製造が可能となった。 |

フォトレジストのマスクレス露光機
ACCULUSは405nmに加えて365nmも光源として備えたため、より幅広いフォトレジストのマスクレス露光機としても使用できる。 |
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