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概要

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ACCULASによるマイクロ立体構造製作の特徴ACCULASは、ミクロン領域で立体構造の製作を可能にした光造形装置です。錐体やアンダーカット、自由曲面のある形状などを積層法により短期間に製作します。3次元CADデータを直接使用し、1回のプロセスで立体構造を製作できます。ＡＣＣＵＬＡＳでは、角錐を凸、凹に連続して配置した錐体形状も簡単に製作できます。角錐形状SEM写真●切削法凸形状は回転刃で削り出せますが、凹形状は回転刃では困難です。●フォトリソグラフィー多数のフォトマスクを必要とし、複数回のプロセスを繰り返す必要があります。ＡＣＣＵＬＡＳでは、アンダーカットや自由曲面形状を含むタービン形状も簡単に製作できます。タービン形状SEM写真●切削法微細な曲面形状では刃が入らず、製作が不可能な場合もあります。●フォトリソグラフィー多数のフォトマスクを必要とし複数回のプロセスを繰り返す必要があります。アンダーカットなどは犠牲層を用いるなど複雑なプロセスを使うこともあります。アンダーカット形状斜めに張り出す自由曲面形状ＡＣＣＵＬＡＳと従来のマイクロ構造製作法との比較製作できる形状解像度使用する材料納期・コストマイクロ光造形法ACCULAS自由曲面・アンダーカット・多孔構造など複雑な立体構造を製作できる。1画素は1.7μm角を最小単位とする。光硬化性樹脂１回のプロセスで製作するので短納期低コストである。切削法多軸加工機を用いることで、曲面切削ができる。切削刃の径に制限される。エンドミル刃はおよそ10μmである。金属・樹脂・ガラス微細形状では刃の破損を防ぐため、加工速度を落として製作するので、時間がかかり、コスト高となる。フォトリソグラフィー2次元の平面形状を積層することで立体構造を製作できる。32nmでのL/Sパターンの形成が可能である。フォトレジストマスク製作に時間とコストがかかる。ACCULASは株式会社レーザーソリューションズの登録商標です。